ICP發射光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，ICP發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。
 

　　一、ICP發射光譜儀的維修保養：
 

　　1.儀器要有良好的使用環境。環境溫濕度變化過大儀器各部件容易受潮或者損壞，所以室內濕度應控制在要求范圍之間，并配備空氣凈化裝置。
 

　　2.儀器的供電線路要符合要求。為保證ICP的安全運行，供電線路必須要有足夠大的容量，否則儀器運行時線路的電壓降過大，影響儀器壽命。
 

　　3.當實驗室內需要采用排風機排除儀器的熱量及工作時產生的氣體時，室外含有大量灰塵的空氣流入室內，積聚在儀器的各個部位上，容易造成高壓組件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路漏電等故障，因此需要經常進行除塵。
 

　　4.ICP的氣體控制系統是否穩定正常地運行，直接影響到儀器測定數據的好壞，如果氣路中有水珠、機械雜物雜屑等都會造成氣流不穩定，因此，對氣體控制系統要經常進行檢查和維護。
 

　　5.霧化器是進樣系統中精密及關鍵的部份，需要很好的維護使用及定期清理，否則可能導致測定強度下降，儀器反射功率升高等。
 

　　6.使用中盡量減少開停機的次數，儀器頻繁開啟容易造成損壞，使用中需要倍加注意。
 

　　二、ICP發射光譜儀使用注意事項：
 

　　1、進樣前進樣系統的檢查。
 

　　2、測定后進樣系統的檢查和清洗。
 

　　3、廢液桶中的廢液要經常清理。
 

　　4、炬管、霧化器及霧室的清洗。
 

　　5、冷卻水、真空泵油、分子篩的定期更換。